潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國際慣例,無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微。
對于屬于不同潔凈級別的車(chē)間,級別高的車(chē)間和相鄰級別低的車(chē)間要承載啟動(dòng)設備所產(chǎn)生的短時(shí)壓差,要保持正的靜壓差,所以必須按照嚴格的技術(shù)方法謹慎操作。
潔凈室地面需使用雙層不銹鋼罩排水地漏,并經(jīng)常沖洗。所以潔凈車(chē)間裝修施工時(shí)不僅要認真找準標高、排水坡度,以防管道阻塞, 而且還要確保地漏自身的表面精度達標,地漏與地面結合部位要光 潔、嚴密,使之與密封和潔凈的要求相符。 潔凈室的地面要求耐磨、平整,方便清洗除灰,不易產(chǎn)生靜電, 以保證面層牢固地和基層粘結,不僅舒適,且不空不裂。
在潔凈車(chē)間裝修過(guò)程中,要加強骨架的整體性,妥善解決吊頂因承受設備啟動(dòng)時(shí) 的壓力變化和靜壓差所產(chǎn)生的密封及開(kāi)裂、變形問(wèn)題,實(shí)現預期的氣 密狀態(tài)風(fēng)口、燈具、功能接頭、消防箱、配電柜、觀(guān)察窗等所有孔洞的周?chē)?,都要遵照要求做法對不同材料相互交接的地方采取防裂和密封手段,使潔凈室整體的氣密性得到保證;門(mén)窗的氣密性應良好;潔凈車(chē)間的頂棚、墻壁、施工縫隙及樓地面的構造都要穩妥的加以密封; 通常要將聚苯乙烯泡沫板嵌填到位于車(chē)間潔凈區和非潔凈區之間的伸縮縫中;室內采用彩色壓型鋼板,并用膨脹螺釘鎖??;室外采用不銹鋼蓋板,并在其邊緣全部以密封膠密封。
為證明潔凈室工作得令人滿(mǎn)意,必須證明其滿(mǎn)足了下述準則的要求:
1.潔凈室的送風(fēng)量充足,足以稀釋或消除室內產(chǎn)生的污染。
2.潔凈室內的空氣是從潔凈區向潔凈程度差的區域流動(dòng),受污染空氣的流動(dòng)達到zui低程度,空氣在門(mén)口處和室內建筑中的流動(dòng)方向正確。
3.潔凈室的送風(fēng)不會(huì )顯著(zhù)增加室內的污染。
4.室內空氣的運動(dòng)狀態(tài)可保證密室內沒(méi)有高濃度聚集區域。??
如果潔凈室達到了上述這些準則的要求,就可以測量其粒子濃度或微生物濃度(必要時(shí)),以確定其達到了規定的潔凈室標準。
1.送風(fēng)量與排風(fēng)量:如果是紊流潔凈室,那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測量其風(fēng)速。??
2.各區之間的氣流控制:為證明各區之間氣流運動(dòng)方向正確,也就是從潔凈區向潔凈度差的區域流動(dòng),必須檢測:
(1)各區間的壓差正確;
(2)門(mén)口處或墻、地板等處的開(kāi)口處氣流運動(dòng)方向正確,即從潔凈區向潔凈程度差的區域流動(dòng)。
3.過(guò)濾器檢漏:對高效過(guò)濾器及其外框要進(jìn)行檢驗,以保證懸浮污染物不會(huì )穿過(guò):
(1)損壞了的過(guò)濾器;
(2)過(guò)濾器與其外框間的縫隙;
(3)過(guò)濾器裝置的其他部位而侵入室內。
潔凈室氣密在常年的負壓工況及異常正壓工況下會(huì )逐漸遭到破壞,容易造成圍護結構接縫松散,密封膠脫落,導致泄漏。另外實(shí)驗室需要經(jīng)常進(jìn)行消 毒處理,一些密封材料會(huì )逐漸腐蝕老化。因此,建議加強對潔凈室氣密測試的定期維護保養及年檢測試。
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