潔凈室氣密測試的基本原理
潔凈室氣密測試的基本原理
日期：2024-12-22 22:39
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摘要：
潔凈室氣密測試是很重要的，簡(jiǎn)單直觀(guān)的一點(diǎn)就是潔凈車(chē)間（室）的氣密性可以防止負壓潔凈室內污染物的外泄，如果這一項未檢測甚至相關(guān)檢測人員連氣密性檢測方法都不懂的話(huà)，那這個(gè)潔凈車(chē)間（室）的驗收就得越加另請高明了。針對這個(gè)潔凈車(chē)間（室）氣密性檢測，在合景凈化這里是有檢測方法的，下面就給大家分享潔凈車(chē)間氣密性檢測方法。
基本原理
1、維持無(wú)塵車(chē)間（室）內為正壓或負壓均能達到檢測要求，但必要條件準許時(shí)，負壓潔凈車(chē)間（室）宜用正壓檢測，正壓潔凈車(chē)間（室）宜用負壓檢測。
2、可按下面兩種方式方法開(kāi)展氣密性檢測:
2.1 - 壓力衰減法
使潔凈車(chē)間（室）內達到某一壓力(正壓或負壓)，然后關(guān)掉供壓或抽負壓系統，仔細觀(guān)察壓力隨時(shí)間慢慢哀減的情況，然后記錄下壓力衰減到開(kāi)始壓力的二分之一時(shí)用到的時(shí)間，便是測量潔凈車(chē)間（室）內正壓或負壓的半衰期。
2.2 - 恒壓法
使潔凈車(chē)間（室）內達到某一正壓，與此同時(shí)向潔凈車(chē)間（室）內補氣，使室壓達到要求的穩定值而不降低時(shí)的補氣量便是漏泄量。使潔凈車(chē)間（室）內達到某一負壓，使室壓維持要求的穩定值而不降低時(shí)的抽氣量便是漏泄量。
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